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超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度,通常采用预处理、反渗透技术、工业超纯水处理设备以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换(抛光)、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm。